真空设备的维护和维修

 机械真空泵的维护和保养：  

（1） 泵及其四周环境应经常保持清洁。  

（2） 泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。  

（3） 不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。  

（4） 泵在使用中温升不能超过70℃。  

（5） 新泵在使用100 h左右应换1～2次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可加长换油期限。根据说明书规定和使用实际情况来确定换油期限。  

（6） 新泵和修理后的泵应现作运转试验4～6 h，检查泵是否符合使用要求。  

（7） 泵使用较长时间以后（2～3年不等），极限真空度下降，应进行一次检修。同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。  

（8） 泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的真空管道（关低真空阀或夹真空夹），防止喷油，污染工作场地。  

（9） 泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。  

（10）泵不用时，应用橡皮塞（帽）把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。  

（11）经常注意真空技术发展动向，尽量及早地引入新技术、新材料（如新泵油等），以改进原有系统的性能。  以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。  1.2、整套设备的日常维护：  （1） 操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。  

（2） 冷却水水压应保持0.1～0.2 Mpa之间，出水温度≤45℃。  

（3） 压缩空气压力在0.4～0.5 Mpa之间。  

（4） 每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。  

（5） 开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。  

（6） 经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。  

（7） 设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。  

（8） 机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。  

（9） 扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。  

（10）充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。  

（11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。  

（12）设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。  

（13）气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。  

（14）设备的整机电压要保证在350～420 V范围内。三相要平衡。  

（15）规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。  

（16）各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。  

（17）设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。  

（18） 设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10～40℃。在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。  

（19） 设备在工作时，操作人员不得长时间离岗