干式真空泵的特点与应用

   干式真空泵使工作容积中无油，因而带来了不少好处。首先，它加强了泵的牢靠性。干式泵不像油密封泵那样遭到水蒸气或者尘粒的影响，因而它们更耐用，所需的维护工作更少。减少用油量还意味着减少了认真处置油而破费的本钱。运用干式真空泵还使可能的污染减到较小水平，这种污染既可能呈现在油里——影响了泵的性能，也可能呈现在某些极端的状况下 

　　目前，真空行业运用的大多数干式真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充任泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、光滑等多种作用。随着科学技术的开展以及真空应用范畴的扩展，原有的干式真空泵及其组成的抽气系统呈现了两个急需处理问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多状况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护本钱。其次，由于某些工艺过程中的反响物质使真空泵内的介质严重蜕变，使泵不能正常工作。

　　关于普通的无油真空系统来说，固然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流，但不能彻底处理问题，而且使系统显得复杂。而运用恰当型式的干式真空泵，则能够到达理想的运用效果。

　　干式真空泵的应用是普遍的，主要有以下几个方面：

　　1)低压化学气相堆积中的多晶硅制备工艺中；

　　2)半导体刻蚀工艺。在这些消费工艺中常常用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

　　3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵能够满足请求；

　　4)用做普通无油清洁真空系统的前级泵，以避免油污染；

　　5)在化学工业、医药工业、食　品工业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等，要避免有机溶剂形成污染，合适用干式真空泵。